VHF-PECVD 装备的开发

项目负责人:何祝兵
技术领域:高端制造装备

项目简介


本项目所开发的甚高频CCP-PECVD系统,是当前最先进的PECVD技术。它采用甚高频40.68MHz替代了当前应用材料公司采用的射频13.56MHz作为驱动电源等离子体密度随着驱动电源频率的增加而提高9倍,反应气体的离化率大幅提高同时离子轰击衬底的能量显著降低,大大提高了成膜质量和成膜速率。该系统是平板式电容耦合放电的等离子体系统,处理的基片尺寸1.1m*1.3m(5 代)和 1.5m*1.85m(6 代)两类尺寸,满足当前移动终端显示屏的成本最低的切割需求,也是高效异质结太阳能电池的关键核心设备。在平板显示ARRAY整体产线成本中,PECVD设备占近15-20%。在异质结太阳能电池的整体产线成本中则占 30-35%。


市场现状


PECVD 是现代微电子行业、半导体信息产业、新能源产业、新材料产业的基础性核心装备。其水平决定了电子信息能源产品的质量。PECVD 装备,尤其是大面积 PECVD 装备,全球市场规模大约400 亿美元。